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| 应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353
作者: 李华东; 齐克奇 ; 石强; 王少鑫; 王智
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精密驱动 尺蠖运动 压电驱动器 驱动力 位移分辨率 |
| Performance test of piezoelectric actuators for space inertial sensors 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 2, 页码: 344-353
作者: H.-D. Li,K.-Q. Qi,Q. Shi,S.-X. Wang and Z. Wang
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| Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者: Bi, Dan-Dan; Zhang, Li-Chao; Shi, Guang
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Optical films Integrated circuit manufacture Irradiation Lithography Optical coatings Optical systems |
| 变折射率体全息光栅衍射特性分析方法与制作工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 何天博
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| LED集成阵列芯片理论及关键工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 包兴臻
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Led阵列 隔离槽 出光效率 Mems技术 |
| 热释电红外探测器的吸收层与辐射调制、微扫描技术 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 郝东亮
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热释电 红外探测器 吸收层 辐射调制 微扫描 |
| 柔性LED阵列器件的结构设计及制备研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 高丹
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微型柔性led阵列 Algainp 聚酰亚胺 Moems技术 隔离沟槽 |
| CD-like微流控芯片关键器件和集成化技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 刘永顺
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Cd-like微流控芯片 热压 激光加工 微混合器 表面改性 |
| 大功率半导体激光器列阵的热特性研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者: 王烨
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| 空间相机主次镜间支撑结构技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者: 李威
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