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软X射线接触式显微术研究 期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 02, 页码: 27-33
作者:  刘毅楠;  王占山;  李哲;  曹健林;  林宜平
caj(95Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/53  |  提交时间：2013/03/11
软x射线接触式显微术  生物样品  抗蚀膜  显影条件  曝光量  
用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性 期刊论文
微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 43-46
作者:  王占山;  刘毅楠;  曹健林
caj(39Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：414/59  |  提交时间：2013/03/11
接触式显微术  光刻胶  溶解速率  
软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 05, 页码: 74-78
作者:  刘毅楠;  王占山;  李哲;  曹健林;  林宜平
caj(61Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：349/45  |  提交时间：2013/03/11
软x射线接触式显微术  生物样品  抗蚀膜  显影条件