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基于静电诱导技术的微流体通道的一步制作研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  陈厚凯
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微光机电机械系统（MOEMS）技术及其应用 期刊论文
传感器与微系统, 2011, 期号: 11
作者:  李红光
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MEMS和微流体分析系统的发展 期刊论文
光机电信息, 2003, 期号: 07, 页码: 27-31
作者:  鞠挥;  吴一辉
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Mems技术:6304  微型全分析系统:4765  微流体:4334  压力传感器:2159  分析仪器:1871  加速度计:1775  流体分析:1530  微制造技术:1371  微小化:1291  仪器仪表:1244  
微型光谱仪的发展 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: 01, 页码: 30-37
作者:  鞠挥;  吴一辉
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微型光谱仪  微机电系统  微光学  微制造技术  
微光机电系统国内外研究进展 期刊论文
光机电信息, 2000, 期号: 08, 页码: 1-5
作者:  梁静秋
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微光机电系统:9087  涡轮喷气发动机:2324  国内外研究:1475  微型机电系统:1430  微机器人:1346  微结构:1222  微加速度计:1182  微制造技术:1089  微驱动器:986  微机械:962  
X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形制作技术研究 期刊论文
微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 47-52
作者:  乐孜纯;  梁静秋;  姚劲松;  李春;  叶露;  曹健林;  邢红梅
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Bragg－fresnel元件  衍射图形  微制造技术