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| Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3 作者: Wang, Y.; Q. Lu and Y. Gao 浏览  |  Adobe PDF(284Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:456/160  |  提交时间:2018/06/13 |
| Cleaning of carbon contamination on multilayer optics of EUVL 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 11 作者: Song, Y.; Q.-P. Lu; X.-P. Gong; Y. Wang and Z.-Q. Peng 浏览  |  Adobe PDF(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:338/129  |  提交时间:2018/06/13 |
| 极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 鹿国庆 Adobe PDF(1786Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:520/1  |  提交时间:2014/08/21 |
| 极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文 光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372 作者: 鹿国庆; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏 caj(416Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:572/183  |  提交时间:2014/03/07 光学器件 极紫外光刻 碳氢化合物污染模型 多层膜光学元件 二次电子 |
| 小型高精度软X射线_极紫外反射率计 期刊论文 光学精密工程, 2008, 期号: 10 作者: 尼启良; 刘世界; 陈波 caj(231Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:567/82  |  提交时间:2012/09/25 |
| X射线波段多层膜光学元件 期刊论文 自然科学进展, 1991, 期号: 06, 页码: 555-557 作者: 曹健林; 缪同群; 马月英; 朱秀芳; 陈波; 钱莉民; 李福田; 陈星旦 caj(116Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:465/80  |  提交时间:2013/03/11 X射线 多层膜技术 光学元件 |