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极微小电容的检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  冯佳
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电容传感器  电容检测  交流激励式  电容桥  开关检波  
平面光栅效率仪测量过程分析与结果修正 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 7, 页码: 0705002-1
作者:  巴音贺希格;  唐玉国;  齐向东;  于宏柱
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硅光栅技术 期刊论文
光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15
作者:  栾光辉;  刘剑
caj(1040Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：439/71  |  提交时间：2013/03/11
硅光栅:8344  衍射光栅:2782  各向异性刻蚀:2681  制作工艺:2002  光刻胶:1650  闪耀光栅:1645  微机械:1511  微细加工技术:1326  多晶硅:1050  反射光栅:922