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Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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原子与分子物理学  分子动力学  反射  再溅射  Mo/Si原子  角度分布  能量分布  
Reflection and Resputtering of Mo/Si Atoms During High-Energy Deposition 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 8
作者:  S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng
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ArF准分子激光高反射薄膜技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  常艳贺
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碳基纳米材料的制备、表征及场发射特性研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  曾乐勇
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