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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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基于粒子群优化的宏观傅里叶叠层成像位置失配校准
期刊论文
光学精密工程, 2022, 卷号: 30, 期号: 23, 页码: 2975-2986
作者:
何承刚
;
朱友强
;
王斌
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提交时间:2023/05/18
基于差分传递函数法的大口径平面镜检测
期刊论文
中国光学(中英文), 2022, 卷号: 15, 期号: 05, 页码: 992-999
作者:
安其昌
;
姜晰文
;
李洪文
;
唐境
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提交时间:2023/05/18
Detection of large aperture flat mirror based on the differential optics transfer function method
期刊论文
Chinese Optics, 2022, 卷号: 15, 期号: 5, 页码: 992-999
作者:
Q.-C. An
;
X.-W. Jiang
;
H.-W. Li and J. Tang
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提交时间:2023/06/14
Large aperture transmission optical element detection method based on dOTF
期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2021, 卷号: 50, 期号: 6
作者:
J. Tang
;
J. Zhang
;
Q. An and H. Li
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提交时间:2022/06/13
拼接式望远镜主镜衍射效应研究
期刊论文
应用光学, 2020, 卷号: 41, 期号: 03, 页码: 447-454
作者:
张龙
;
王孝坤
;
程强
;
胡海翔
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提交时间:2021/07/06
拼接式望远镜
衍射效应
主镜构型
piston误差
tip-tilt误差
基于dOTF的大口径透射光学元件检测技术
期刊论文
红外与激光工程, 2020, 页码: 7
作者:
唐境
;
张景旭
;
安其昌
;
李洪文
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提交时间:2021/07/06
大口径大视场望远镜
大口径校正透镜
差分光学传递函数
集成检测
Normalized point source sensitivity analysis of large sparse telescopes
期刊论文
Chinese Optics, 2019, 卷号: 12, 期号: 3, 页码: 567-574
作者:
Q.-C.An
;
J.-X.Zhang
;
F.Yang
;
H.-C.Zhao
;
H.-F.Cao
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提交时间:2020/08/24
Tin compounds,Error analysis,Frequency domain analysis,Mirrors,Optical systems,Sensitivity analysis,Synthetic apertures,Telescopes
Optical coatings for projection objective immersion lithography
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:
Bi, Dan-Dan
;
Zhang, Li-Chao
;
Shi, Guang
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提交时间:2019/09/17
Optical films
Integrated circuit manufacture
Irradiation
Lithography
Optical coatings
Optical systems
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:
Dai, Cen
;
Gong, Yan
;
Zhang, Hao
;
Li, Dian-Meng
;
Xue, Jin-Lai
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提交时间:2019/09/17
Multilayers
Coatings
Confocal microscopy
Defects
Diffraction
Extreme ultraviolet lithography
Microstructure
Speckle reduction method with phase range limited diffractive optical element
期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2017, 卷号: 46, 期号: 1
作者:
Liang, C.-Y.
;
W. Zhang
;
D.-W. Rui
;
Y.-X. Sui and H.-J. Yang
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提交时间:2018/06/13