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基于光束扫描宽化技术的激光掩模微加工系统 期刊论文
中国光学, 2011, 卷号: 4, 期号: 6, 页码: 654-659
作者:  谢冀江;  杨贵龙;  邵春雷;  张来明;  郭劲
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激光调阻工艺参数对调阻精度的影响分析 期刊论文
应用激光, 2004, 期号: 03, 页码: 139-141
作者:  孙继凤;  汤建华;  郭晓光
caj(25Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:485/80  |  提交时间:2013/03/11
光斑重叠率  激光功率  调q频率  调阻速度  调阻精度