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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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静、动态目标模拟离轴三反光学系统设计
期刊论文
光学技术, 2020, 卷号: 46, 期号: 02, 页码: 192-197
作者:
王志强
;
常艳贺
;
王春艳
;
孙昊
;
李圆圆
;
安文强
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提交时间:2021/07/06
离轴三反光学系统
初始结构计算
偶次非球面
公差分析
浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究
学位论文
硕士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
毕丹丹
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提交时间:2019/09/23
光学薄膜
浸没式光刻
大角度保偏膜系
浸液环境寿命
激光辐照寿命
Optical coatings for projection objective immersion lithography
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:
Bi, Dan-Dan
;
Zhang, Li-Chao
;
Shi, Guang
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提交时间:2019/09/17
Optical films
Integrated circuit manufacture
Irradiation
Lithography
Optical coatings
Optical systems
红外光谱仪多级微反射镜模拟分析及制作研究
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 1222005
作者:
梁中翥
;
梁静秋
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提交时间:2012/05/11
大功率激光扩束器的光学设计
期刊论文
激光技术, 2009, 期号: 4
作者:
巩盾
;
王红
;
田铁印
;
袁钾光
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提交时间:2012/09/25
光学设计与制造
激光扩束器
石英
大功率激光器