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临界角法激光直写聚焦伺服系统静态特性研究 期刊论文
电光与控制, 2011, 卷号: 18, 期号: 5, 页码: 59-62
作者:  梁凤超
Adobe PDF(1102Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：384/101  |  提交时间：2012/05/11
二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2005, 期号: 03, 页码: 275-278
作者:  冯晓国
caj(94Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：390/61  |  提交时间：2013/03/11
传动系统  气体静压导轨  定位精度  
二元光学激光直写设备软件的再用技术 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 06, 页码: 554-556
作者:  熊木地;  张慧敏
caj(44Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：450/63  |  提交时间：2013/03/11
软件组合技术  软件生成技术  面向对象编程  可再用软件  
激光直写设备调焦伺服控制系统的研究 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 79-82
作者:  熊木地;  肖文礼;  邢忠宝
caj(64Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：547/70  |  提交时间：2013/03/11
二元光学激光直写设备  二级调焦系统  两点探焦法  归一化处理