Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究 | |
冯晓国
| |
| 2005-03-30 | |
| 发表期刊 | 仪器仪表学报
 |
| 期号 | 03页码:275-278 |
| 关键词 | 传动系统 气体静压导轨 定位精度 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28572 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯晓国. 二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究[J]. 仪器仪表学报,2005(03):275-278. |
| APA | 冯晓国.(2005).二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究.仪器仪表学报(03),275-278. |
| MLA | 冯晓国."二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究".仪器仪表学报 .03(2005):275-278. |
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| 二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究（94KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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