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二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究
冯晓国
2005-03-30
发表期刊仪器仪表学报
期号03页码:275-278
关键词传动系统 气体静压导轨 定位精度
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28572
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
冯晓国. 二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究[J]. 仪器仪表学报,2005(03):275-278.
APA 冯晓国.(2005).二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究.仪器仪表学报(03),275-278.
MLA 冯晓国."二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究".仪器仪表学报 .03(2005):275-278.
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