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激光直写设备调焦伺服控制系统的研究
熊木地; 肖文礼; 邢忠宝
2000-02-29
发表期刊光学精密工程
期号01页码:79-82
关键词二元光学激光直写设备 二级调焦系统 两点探焦法 归一化处理
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31408
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
熊木地,肖文礼,邢忠宝. 激光直写设备调焦伺服控制系统的研究[J]. 光学精密工程,2000(01):79-82.
APA 熊木地,肖文礼,&邢忠宝.(2000).激光直写设备调焦伺服控制系统的研究.光学精密工程(01),79-82.
MLA 熊木地,et al."激光直写设备调焦伺服控制系统的研究".光学精密工程 .01(2000):79-82.
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