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一种二自由度微位移精密定位装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-08-01, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  齐克奇;  向阳
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一种光刻机投影物镜微调平机构 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-07-25, 公开日期: 2012-07-25
发明人:  向阳;  齐克奇
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一种用于光刻投影物镜安装的调平定位装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-21, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  向阳;  齐克奇
Adobe PDF(695Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：392/57  |  提交时间：2012/08/29
一种光刻投影物镜微调平机构 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-03-12
发明人:  向阳;  齐克奇
Adobe PDF(513Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：648/51  |  提交时间：2014/03/12