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光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1452-1455
作者:  齐克奇;  向阳
caj(1097Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：523/123  |  提交时间：2013/03/11
光刻投影物镜  波像差  相移测量  桥式放大机构  有限元  
双光路成像干涉定心系统设计 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 10, 页码: 1180-1185
作者:  方超;  向阳
caj(1000Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：498/114  |  提交时间：2013/03/11
测量  准直测量  干涉测量  双光路  
10_远心离轴三反消像散望远系统的光学设计 期刊论文
光子学报, 2009, 卷号: 9, 期号: 38, 页码: 2256
作者:  向阳
caj(443Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：317/50  |  提交时间：2012/09/25