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光刻物镜中压电陶瓷驱动器的动态性能研究 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 09, 页码: 1071-1075
作者:  王学亮;  巩岩
caj(697Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：604/189  |  提交时间：2013/03/11
光刻物镜  压电陶瓷  动态性能  
高精度物镜波纹管致动器的线性分析 期刊论文
光子学报, 2011, 期号: 10, 页码: 1526-1530
作者:  袁文全;  巩岩;  张巍;  王学亮;  倪明阳;  赵磊
Adobe PDF(544Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：509/160  |  提交时间：2012/05/11
高精度物镜波纹管致动器的线性度分析 期刊论文
光子学报, 2011, 期号: 10, 页码: 1526-1530
作者:  袁文全;  巩岩;  张巍;  王学亮;  倪明阳;  赵磊
caj(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：482/142  |  提交时间：2013/03/11
高精度物镜  气动  波纹管  几何非线性  有限单元法