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投影物镜小比率模型的计算机辅助装调 期刊论文
中国光学, 2012, 期号: 04, 页码: 394-400
作者:  赵阳;  巩岩
caj(483Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：434/124  |  提交时间：2013/03/11
计算机辅助装调  小像差光学系统  灵敏度矩阵  Fringe Zernike多项式  
提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 08, 页码: 161-167
作者:  赵阳;  巩岩
caj(1508Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：470/92  |  提交时间：2013/03/11
几何光学  非平行反射扩束单元  子光束叠加  照明均匀性  
一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-06-13, 公开日期: 2012-06-13
发明人:  倪明阳;  巩岩;  张巍;  赵阳;  赵磊
Adobe PDF(639Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：629/47  |  提交时间：2012/08/29