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大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 1, 页码: 42-45
作者:  糜小涛
caj(267Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：293/98  |  提交时间：2015/04/17
衍射光栅刻划机  刀架导轨  静力学分析  
高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: S2, 页码: 438-439
作者:  时轮;  郝德阜;  齐向东
caj(37Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/76  |  提交时间：2013/03/11
衍射光栅刻划机  双重定位  间歇式  连续式  
衍射光栅刻划机分度误差的实时测量 期刊论文
仪器仪表学报, 1993, 期号: 04, 页码: 408-411
作者:  杨厚民;  王晓琳
caj(168Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：450/83  |  提交时间：2013/03/12
分度误差:6432  衍射光栅刻划机:5052  实时测量:5031  理论分析:1780  均匀性误差:1158  分辨率:955  原理:837  不确定度:828  脉冲填充:694  鬼线:693  
衍射光栅刻划机 期刊论文
光学学报, 1981, 期号: 01, 页码: 51-58
作者:  梁浩明;  庄夔;  张庆英;  杨厚民
caj(2972Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：476/70  |  提交时间：2013/03/11
衍射光栅刻划机:7313  平面衍射光栅:4650  滑座:3408  鬼线:2086  分度系统:1351  刻线机:1348  干涉控制:1230  精密机械:1203  机械式:1142  干涉条纹:1000