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曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响 期刊论文
计量技术, 2005, 期号: 12, 页码: 28-29
作者:  陈贇
caj(542Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:366/53  |  提交时间:2013/03/11
码盘  圆光栅  曝光量  均匀性误差  黑白比  
圆光栅均匀性误差的测量 期刊论文
计量技术, 2000, 期号: 12, 页码: 22-25
作者:  张红胜
caj(27Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:406/74  |  提交时间:2013/03/12
圆光栅  均匀性误差  角位移误差  对比度系数  
光学码盘的检验 期刊论文
计量技术, 1999, 期号: 10, 页码: 25-27
作者:  张红胜;  杨进堂
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光学码盘  刻划误差  均匀性误差  码道关系误差  
检测计量光栅均匀性误差的探讨 期刊论文
光学精密工程, 1996, 期号: 02, 页码: 109-113
作者:  杨进堂
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计量光栅  均匀性误差  莫尔条纹对比度  
衍射光栅刻划机分度误差的实时测量 期刊论文
仪器仪表学报, 1993, 期号: 04, 页码: 408-411
作者:  杨厚民;  王晓琳
caj(168Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:464/87  |  提交时间:2013/03/12
分度误差:6432  衍射光栅刻划机:5052  实时测量:5031  理论分析:1780  均匀性误差:1158  分辨率:955  原理:837  不确定度:828  脉冲填充:694  鬼线:693