Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响 | |
| 陈贇 | |
| 2005-12-18 | |
| 发表期刊 | 计量技术
 |
| 期号 | 12页码:28-29 |
| 关键词 | 码盘 圆光栅 曝光量 均匀性误差 黑白比 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28884 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈贇. 曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响[J]. 计量技术,2005(12):28-29. |
| APA | 陈贇.(2005).曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响.计量技术(12),28-29. |
| MLA | 陈贇."曝光量对码盘、圆光栅均匀性误差的影响".计量技术 .12(2005):28-29. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 曝光量对码盘_圆光栅均匀性误差的影响.c（542KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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