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长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展 期刊论文
硅酸盐通报, 2015, 期号: 12, 页码: 3556
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caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：289/98  |  提交时间：2016/07/06
高精度控制  应用光学  光机所  遗传算法  控制精度  面形误差  国家重点实验室  分布控制  磁控溅射  投影物镜  
微通道热沉标准单元制作的SEM观察 期刊论文
电子显微学报, 2000, 期号: 04, 页码: 587-588
作者:  王晓华;  张宝顺;  王玉霞;  任大翠;  张兴德
caj(33Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：470/104  |  提交时间：2013/03/11
微通道结构:5798  标准单元:5527  半导体激光器:3149  Sem观察:3000  国家重点实验室:2287  高功率:2245  热沉:1741  精密机械:1309  冷却器:1010  硅微通道:926  
小孔径高斯光束整形元件的优化设计 期刊论文
量子电子学报, 1998, 期号: 06, 页码: 627-628
作者:  李凤友;  宋冬草;  廖江红;  卢振武
caj(82Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：509/61  |  提交时间：2013/03/11
光束整形:7123  小孔径:3244  二元光学元件:2907  衍射效率:2691  国家重点实验室:2293  优化设计:2264  位相分布:2172  应用光学:1713  中国科学院:1589  测不准关系:1571