Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 微通道热沉标准单元制作的SEM观察 | |
| 王晓华; 张宝顺; 王玉霞; 任大翠; 张兴德 | |
| 2000-08-25 | |
| 发表期刊 | 电子显微学报
 |
| 期号 | 04页码:587-588 |
| 关键词 | 微通道结构:5798 标准单元:5527 半导体激光器:3149 Sem观察:3000 国家重点实验室:2287 高功率:2245 热沉:1741 精密机械:1309 冷却器:1010 硅微通道:926 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30967 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晓华,张宝顺,王玉霞,等. 微通道热沉标准单元制作的SEM观察[J]. 电子显微学报,2000(04):587-588. |
| APA | 王晓华,张宝顺,王玉霞,任大翠,&张兴德.(2000).微通道热沉标准单元制作的SEM观察.电子显微学报(04),587-588. |
| MLA | 王晓华,et al."微通道热沉标准单元制作的SEM观察".电子显微学报 .04(2000):587-588. |
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