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超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：492/139  |  提交时间：2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
六自由度Stewart平台空间解析及误差分析 期刊论文
机械传动, 2013, 期号: 02, 页码: 87-89+93
作者:  蒋梦捷;  张志宇;  郑立功;  张学军
caj(139Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/76  |  提交时间：2014/03/07
Stewart平台  位置逆解  工作区间  重复精度  
软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 02, 页码: 308-313
作者:  龚学鹏;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(457Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/107  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  同步辐射  谱学显微  单色器  机械结构  重复精度