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两档变焦距电视用摆动式镜组切换机构设计 期刊论文
仪器仪表学报, 2018, 期号: 01, 页码: 84-91
作者:  徐新行;  张飞;  夏文波
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可见光电视  调焦  摆动式  切换机构  重复精度  
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
caj(4184Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:331/0  |  提交时间:2019/09/23
系统波像差  光栅横向剪切干涉  相位复原算法  零级串扰误差  重复精度  
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:  方超;  向阳;  齐克奇
收藏  |  浏览/下载:135/0  |  提交时间:2019/09/17
测量  光栅  相位  干涉  串扰  重复精度