CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共3条,第1-3条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页:   排序方式:
长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展 期刊论文
硅酸盐通报, 2015, 期号: 12, 页码: 3556
-
caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:300/102  |  提交时间:2016/07/06
高精度控制  应用光学  光机所  遗传算法  控制精度  面形误差  国家重点实验室  分布控制  磁控溅射  投影物镜  
大口径离轴长条形反射镜的检测支撑机构 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 10, 页码: 2835-2842
作者:  杨帅;  沙巍;  陈长征;  张星祥;  任建岳
caj(374Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:392/125  |  提交时间:2016/07/06
离轴长条形反射镜  检测支撑  面形误差  集成仿真与优化  离轴三反相机  
瑞奇-康芒式大口径平面镜面形数据处理方法对比研究 期刊论文
应用光学, 2015, 期号: 05, 页码: 698-703
作者:  朱硕;  张晓辉
caj(1152Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:205/82  |  提交时间:2016/07/06
光学检测  大口径平面镜  瑞奇-康芒  面形误差  Zernike