瑞奇-康芒式大口径平面镜面形数据处理方法对比研究

	瑞奇-康芒式大口径平面镜面形数据处理方法对比研究
	朱硕; 张晓辉
	2015-09-15
发表期刊	应用光学
期号	05 页码:698-703
摘要	为使瑞奇-康芒法检测结果更为真实地反映出被检平面镜的面形情况,对瑞奇-康芒检测数据处理方法进行研究。针对现有的数据模型,提出利用坐标转换关系法计算平面镜的面形误差。利用仿真验证坐标转换法的有效性并分析此方法的理论计算精度。通过对比实验结果与干涉仪直接检测结果可知,坐标转换法的实际PV检测精度优于1/20λ,RMS检测精度优于1/100λ,达到高精度检测要求。相比影响矩阵法结果,PV精度提高了0.013λ,RMS精度提高了0.003 7λ,证明坐标转换法更适用于瑞奇-康芒法数据处理分析。
关键词	光学检测大口径平面镜瑞奇-康芒面形误差 Zernike
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54057
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	朱硕,张晓辉. 瑞奇-康芒式大口径平面镜面形数据处理方法对比研究[J]. 应用光学,2015(05):698-703.
APA	朱硕,&张晓辉.(2015).瑞奇-康芒式大口径平面镜面形数据处理方法对比研究.应用光学(05),698-703.
MLA	朱硕,et al."瑞奇-康芒式大口径平面镜面形数据处理方法对比研究".应用光学 .05(2015):698-703.