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极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 135-143
作者:  王君;  王丽萍;  金春水;  苗亮;  谢耀
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光学设计  极紫外光刻  可视化界面  初始结构  
一种离轴三反射系统初始结构的求解方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 11, 页码: 175-181
作者:  于鑫;  张葆;  洪永丰
caj(1273Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：385/98  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  初始结构  同轴三反  离轴三反