中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
变栅距衍射光栅刻划机的控制系统设计 期刊论文
微细加工技术, 2002, 期号: 04, 页码: 32-35
作者:  时轮
caj(52Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：383/50  |  提交时间：2013/03/11
变栅距(Vls)光栅  刻划机  控制系统  
常角法检测圆分度刻划误差谐量失真的研究 期刊论文
计量技术, 2002, 期号: 10, 页码: 3-6
作者:  张红胜;  杨进堂
caj(44Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：455/92  |  提交时间：2013/03/11
圆分度  刻划误差  常角法  误差谐量失真