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PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳;  房丹;  唐吉龙;  王晓华;  刘国军;  魏志鹏
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：374/98  |  提交时间：2017/09/17
氮化铝  等离子增强原子层沉积  生长速率  结晶化  表面粗糙度  沉积温度  
基于衬底温度的红外焦平面联合非均匀性校正 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 3, 页码: 43-48
作者:  唐艳秋;  孙强;  赵建;  姚凯男
caj(352Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：340/95  |  提交时间：2017/09/17
Irfpa  联合非均匀性校正  衬底温度  神经网络算法  P-m模型算法