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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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出处:红外与激光工程
发表日期:2016
语种:中文
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PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响(英文)
期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:
陈芳
;
方铉
;
王双鹏
;
牛守柱
;
方芳
;
房丹
;
唐吉龙
;
王晓华
;
刘国军
;
魏志鹏
caj(194Kb)
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浏览/下载:424/101
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提交时间:2017/09/17
氮化铝
等离子增强原子层沉积
生长速率
结晶化
表面粗糙度
沉积温度
基于衬底温度的红外焦平面联合非均匀性校正
期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 3, 页码: 43-48
作者:
唐艳秋
;
孙强
;
赵建
;
姚凯男
caj(352Kb)
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浏览/下载:378/102
  |  
提交时间:2017/09/17
Irfpa
联合非均匀性校正
衬底温度
神经网络算法
P-m模型算法