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基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现 期刊论文
电子测量技术, 2015, 期号: 12, 页码: 89-91+95
作者:  姬琪;  王红园
caj(267Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：365/101  |  提交时间：2016/07/06
直线电机  气浮导轨  定位平台  闭环控制