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光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151
作者:  彭海峰;  于新峰;  秦硕
caj(1581Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：406/124  |  提交时间：2017/09/17
测量  投影物镜  恒温水套  热像差  温度测试  
基于小物镜系统的热像差影响因素分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2014, 期号: 9, 页码: 201-208
作者:  周连生;  于新峰;  吴志会;  芮大为;  张巍
caj(1405Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：409/107  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  光机热集成分析  热像差  有限元法  Zernike多项式  折射率均匀性  热载