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水靶激光等离子体光源11~20nm波段光谱实验 期刊论文
光学精密工程, 2005, 期号: 03, 页码: 272-275
作者:  齐立红;  李忠芳;  尼启良;  陈波
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激光等离子体光源  光谱测量  软x射线  水靶  
17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究 期刊论文
光学精密工程, 2005, 期号: 02, 页码: 225-230
作者:  薛玲玲;  陈波;  尼启良;  张华;  曹轲;  张玲
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极紫外  激光等离子体  单色仪  微通道板  
纳秒激光等离子体光源的光谱测量技术 期刊论文
光学精密工程, 2005, 期号: 02, 页码: 211-218
作者:  尼启良
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软x射线源  激光等离子体  光谱强度  峰值探测器  
使用气体靶激光等离子体光源的软X射线反射率计 期刊论文
光学精密工程, 2004, 期号: 06, 页码: 576-580
作者:  尼启良;  齐立红;  陈波
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软x射线反射率计  多层膜  激光等离子体  气体靶  
软X射线投影光刻原理装置的设计 期刊论文
光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 66-70
作者:  金春水;  王占山;  曹健林
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软x射线投影光刻  多层膜反射镜  软x射线投影光刻原理装置  激光等离子体光源  
激光等离子体软X线光源的研究 期刊论文
光学精密工程, 1993, 期号: 05, 页码: 41-45
作者:  李K
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激光等离子体  光谱辐射  软x射线  真空紫外