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电极不对称性对惯性传感器性能损失的研究 期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 03, 页码: 455-462
作者:  王少鑫;  齐克奇;  王玉坤;  王智;  陈立恒
caj(2680Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：260/53  |  提交时间：2020/08/24
惯性传感器  敏感结构  电极不对称  量程  
高精度非回转对称非球面加工方法研究 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 364-370
作者:  徐乐;  张春雷;  代雷;  张健
caj(448Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：299/120  |  提交时间：2017/09/17
非回转对称  非球面  气囊抛光  Irp抛光