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展开式拼接望远镜粗共焦共相调整系统设计 期刊论文
光电工程, 2016, 期号: 7, 页码: 52-58+66
作者:  齐荔荔;  王刚;  武国梁;  王磊
caj(471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：355/130  |  提交时间：2017/09/17
展开式拼接望远镜  粗共焦共位相  压电促动器  三自由度平台  
应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展 期刊论文
科学技术与工程, 2016, 期号: 11, 页码: 120-127
作者:  鹿国庆;  吴义恒;  李伶俐;  卢启鹏
caj(280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：365/158  |  提交时间：2017/09/17
极紫外光刻  光刻胶  平衡关系  材料设计