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极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波;  金方圆
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：455/114  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  极紫外光刻  碳沉积模型  迭代法  
短脉冲激光加工硅膜的传热过程及烧蚀图形的二维计算 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 9, 页码: 81-87
作者:  金方圆;  陈波;  鄂书林;  王海峰
caj(861Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：300/94  |  提交时间：2015/04/17
激光加工  红外吸收  激光热传导  热传导-数学计算  硅膜  
皮秒激光烧蚀Al膜的理论分析与实验验证 期刊论文
发光学报, 2014, 期号: 6, 页码: 754-760
作者:  金方圆;  陈波;  鄂书林;  王海峰;  李云鹏;  邢妍
Unknown(1189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/116  |  提交时间：2015/04/17
激光技术  半经典双温方程  有限元方法  自由电子气理论  热电场