Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 皮秒激光烧蚀Al膜的理论分析与实验验证 | |
金方圆; 陈波 ; 鄂书林; 王海峰; 李云鹏; 邢妍
| |
| 2014 | |
| 发表期刊 | 发光学报
 |
| 期号 | 6页码:754-760 |
| 摘要 | 为研究Al膜受短脉冲激光作用时的能量传输过程,建立了一维半经典双温热传导模型。根据材料加工过程的熔化现象,对模型的相变区域进行有效设置。通过有限元法求解,得到晶格温度随时间分布的规律。根据自由电子气理论优化了模型,得到Al膜表面反射率和热吸收系数随时间的分布图。得到了激光辐照所产生热电场的分布规律,并分析了电子温度梯度对其影响。描绘出电子漂移运动速度的分布规律,证实激光作用产生的热电场是电子漂移运动的主导因素,发现最大漂移速度位置随时间的延长而加深。对激光作用后的晶格温度进行了区域性分析,定义了过热加热区,并得到激光烧蚀深度随时间的变化关系。实验结果表明,不同功率皮秒激光烧蚀Al膜的深度接近于理论计算结果。 |
| 文章类型 | 期刊 |
| 关键词 | 激光技术 半经典双温方程 有限元方法 自由电子气理论 热电场 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42666 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金方圆,陈波,鄂书林,等. 皮秒激光烧蚀Al膜的理论分析与实验验证[J]. 发光学报,2014(6):754-760. |
| APA | 金方圆,陈波,鄂书林,王海峰,李云鹏,&邢妍.(2014).皮秒激光烧蚀Al膜的理论分析与实验验证.发光学报(6),754-760. |
| MLA | 金方圆,et al."皮秒激光烧蚀Al膜的理论分析与实验验证".发光学报 .6(2014):754-760. |
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| 皮秒激光烧蚀Al膜的理论分析与实验验证.（1189KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 浏览 下载 | |||
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