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Effect of period setting value on printed phase in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 9
作者:  Jiang S.;  Bayanheshig;  Li W.;  Song Y.;  Pan M.
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：373/55  |  提交时间：2015/04/24