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氧化锌掺杂的二氧化硅薄膜材料的制备方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2005-07-20, 公开日期: 2012-08-29
发明人:  马剑钢;  刘益春;  徐海洋
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RF磁控溅射技术制备TiO_(2-x)N_x薄膜及组成和结构研究 期刊论文
东北师大学报(自然科学版), 2005, 期号: 01, 页码: 50-53
作者:  景士伟;  刘益春;  梁宇;  马健钢;  吕有明;  申德振;  张吉英;  范希武
caj(44Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:363/65  |  提交时间:2013/03/11
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