中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	氧化锌掺杂的二氧化硅薄膜材料的制备方法 (发明)
	马剑钢; 刘益春; 徐海洋
	2005-07-20
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明属于光电子材料技术领域，是一种氧化锌掺杂的二氧化硅薄膜材料的制备方法。先将氧化锌粉末放入加工好的模具当中，利用压片机或者油压机把氧化锌粉末加工成原柱形，经过９００～１２００℃高温焙烧２～４小时，使之成为陶瓷靶。然后把氧化锌陶瓷靶，均匀的分散固定到二氧化硅靶上。采用磁控溅射系统，以高纯度氩气为溅射气体，同时引入高纯……
资助项目	1641063
申请号	200410010640.7
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11038
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	马剑钢,刘益春,徐海洋. 氧化锌掺杂的二氧化硅薄膜材料的制备方法 (发明)[P]. 2005-07-20.

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CN200500164106300000（337KB）			开放获取	--	浏览 下载

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