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镜面散射对显微物镜杂散光特性影响的仿真研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 10, 页码: 178-184
作者:  胡慧杰;  巩岩;  武晓东
caj(1377Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：235/92  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  杂散光  仿真测量  表面粗糙度  颗粒污染水平  
Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 09, 页码: 279-285
作者:  方斌;  田伟;  王汝冬;  朱岩;  张永凯;  王飞
caj(1539Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：298/117  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  光学检测  平面标准镜  有限元法  参考面面形  
基于机械敏感度的光机结构优化 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 07, 页码: 226-231
作者:  门树东;  刘春来;  赵阳;  王平
caj(1256Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：265/124  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  光机结构  机械敏感度  优化设计  误差