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用磁控溅射法制备软X射线多层膜 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 01, 页码: 16-20
作者:  张俊平;  马月英;  高宏刚;  陈斌;  裴舒;  吕俊霞;  曹健林
caj(162Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：347/51  |  提交时间：2013/03/11
磁控溅射  软x射线多层膜