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光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：434/78  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
基于变换的子孔径拼接新算法 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 168-173
作者:  陈一巍;  王飞;  王高文;  隋永新;  杨怀江
caj(3292Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：348/92  |  提交时间：2014/03/07
测量  干涉仪  光学检测  子孔径拼接算法  变换  梯度  
用计算全息图对非球面的高精度检测与误差评估 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 06, 页码: 110-116
作者:  高松涛;  隋永新;  杨怀江
caj(769Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：599/123  |  提交时间：2014/03/07
测量  非球面检测  计算全息图  绝对标定  
在随机和倾斜移相下光强归一化的迭代移相算法 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 01, 页码: 91-97
作者:  苏志德;  史振广;  苏东奇;  隋永新;  杨怀江
caj(694Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：472/151  |  提交时间：2014/03/07
测量  干涉仪  随机倾斜移相  迭代算法  背景光强