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Key technology progress of optomechanical systems in 193 nm projection objective 期刊论文
Zhongguo Kexue Jishu Kexue/Scientia Sinica Technologica, 2017, 卷号: 47, 期号: 6
作者:  Zhang, D.;  X. Li;  D. Rui;  P. Li;  L. Dong and J. Zhang
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Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
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Interferometric detection technique based on optical coherence and weak signal detection 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 2
作者:  Dong, L.;  B. Wang and X. Liu
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Research on compliance of tangent bipod kinematic mount 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2017, 卷号: 46, 期号: 7
作者:  An, M.;  C. Xue;  L. Zhang;  S. Xu and J. Dong
Adobe PDF(1894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：249/78  |  提交时间：2018/06/08