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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [3]
作者
秦莉 [1]
张霞 [1]
贾鹏 [1]
文献类型
期刊论文 [5]
发表日期
2020 [1]
2018 [1]
2017 [1]
2014 [1]
2012 [1]
语种
英语 [4]
出处
Microelect... [5]
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A study of nano-structural effect on the polarization characteristics of metallic sub-wavelength grating polarizers in visible wavelengths
期刊论文
Microelectronic Engineering, 2020, 卷号: 227, 页码: 5
作者:
Z. Y. Yang,B. Feng,B. R. Lu,Y. F. Chen,W. H. Li,W. Zhang and T. Li
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提交时间:2021/07/06
Refined grating fabrication using Displacement Talbot Lithography
期刊论文
Microelectronic Engineering, 2018, 卷号: 189, 页码: 74-77
作者:
Chen, H.
;
Qin, L.
;
Chen, Y. Y.
;
Jia, P.
;
Gao, F.
;
Chen, C.
;
Liang, L.
;
Zhang, X.
;
Lou, H. W.
;
Ning, Y. Q.
;
Wang, L. J.
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提交时间:2019/09/17
Refined grating fabrication
Displacement Talbot Lithography
Phase
shift mask
Photolighography
interferometric lithography
grids
Engineering
Science & Technology - Other Topics
Optics
Physics
Strategy and mechanics for bendable micro-light emitting diode array integrated by polymer
期刊论文
Microelectronic Engineering, 2017, 卷号: 179
作者:
Fang, S. W.
;
J. Q. Liang
;
Z. Z. Liang
;
Y. X. Qin
;
J. G. Lv and W. B. Wang
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提交时间:2018/06/13
Improving the adhesion of hydrogen silsesquioxane (HSQ) onto various substrates for electron-beam lithography by surface chemical modification
期刊论文
Microelectronic Engineering, 2014, 期号: 128, 页码: 59-65
作者:
Zhang Z. Q.
;
Duan H. G.
;
Wu Y. H.
;
Zhou W. P.
;
Liu C.
;
Tang Y. G.
;
Li H. W.
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提交时间:2015/04/24
Experimental study on formability of bulk metallic glass as mold for microstructure replication
期刊论文
Microelectronic Engineering, 2012, 卷号: 98, 页码: 142-146
作者:
Mei L.
;
Liu J. B.
;
Huang Y. J.
;
Lin J.
;
Shen J.
;
Tan J. B.
;
Jin P.
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提交时间:2013/03/27