中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析期刊论文中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 04, 页码: 787-794 作者: 赵晨行; 卢启鹏; 宋源; 龚学鹏; 王依; 徐彬豪浏览 \| Adobe PDF(2230Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：198/54 \| 提交时间：2021/07/06 面形误差无应力夹持有限元分析重力补偿自由电子激光光束线
	极紫外与X射线增反膜表面碳沉积去除技术研究学位论文博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者: 王依 caj(7582Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：278/0 \| 提交时间：2019/09/23 极紫外 X射线增反膜碳沉积等离子体去除

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