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Analysis of ArF excimer laser system discharge characteristics in different buffer gases 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2020, 卷号: 69, 期号: 17, 页码: 8
作者:  Q. Wang, J. S. Zhao, Y. Y. Fan, X. Guo and Y. Zhou
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用于ArF准分子激光器的CaF2衬底性能的实验表征 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 10, 页码: 1002005
作者:  邓文渊;  金春水
Adobe PDF(830Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：527/153  |  提交时间：2012/05/11
用于ArF准分子激光器的CaF_2衬底性能的实验表征 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 10, 页码: 22-27
作者:  邓文渊;  金春水;  靳京城
caj(471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：520/64  |  提交时间：2013/03/11
激光器  Arf准分子激光器  Caf2衬底  激光量热吸收  表面粗糙度  光谱术