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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [2]
作者
张立超 [1]
时光 [1]
王少鑫 [1]
齐克奇 [1]
文献类型
期刊论文 [5]
发表日期
2020 [2]
2018 [1]
1998 [1]
1997 [1]
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出处
Chinese Op... [2]
中国光学 [1]
光学精密工程 [1]
功能材料与器件学报 [1]
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应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试
期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353
作者:
李华东
;
齐克奇
;
石强
;
王少鑫
;
王智
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提交时间:2021/07/06
精密驱动
尺蠖运动
压电驱动器
驱动力
位移分辨率
Performance test of piezoelectric actuators for space inertial sensors
期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 2, 页码: 344-353
作者:
H.-D. Li,K.-Q. Qi,Q. Shi,S.-X. Wang and Z. Wang
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提交时间:2021/07/06
Optical coatings for projection objective immersion lithography
期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:
Bi, Dan-Dan
;
Zhang, Li-Chao
;
Shi, Guang
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提交时间:2019/09/17
Optical films
Integrated circuit manufacture
Irradiation
Lithography
Optical coatings
Optical systems
环状SMA微夹钳工作原理的研究
期刊论文
功能材料与器件学报, 1998, 期号: 02, 页码: 18-23
作者:
李路明
;
王立鼎
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提交时间:2013/03/11
形状记忆合金
微夹钳
设计原理
粘附力
微夹钳技术发展现状及应用研究
期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 04, 页码: 9-14
作者:
李路明
;
任延同
;
王立鼎
;
邵培革
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提交时间:2013/03/11
微夹钳
粘附力
现状