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光学材料的浅低温抛光方法 期刊论文
航空精密制造技术, 1999, 期号: 06, 页码: 1-5
作者:  韩荣久;  安贵生;  刘要武;  裴舒;  梁荣;  张云;  吴校生;  王立江
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浅低温抛光  抛光模层  抛光液  压痕  
单晶硅片的低温抛光技术 期刊论文
光学精密工程, 1998, 期号: 05, 页码: 106-111
作者:  韩荣久;  孙恒德;  徐德全;  张云;  王立江
caj(146Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：419/76  |  提交时间：2013/03/11
低温抛光  抛光模层  抛光液