Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 单晶硅片的低温抛光技术 | |
| 韩荣久; 孙恒德; 徐德全; 张云; 王立江 | |
| 1998-10-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 05页码:106-111 |
| 关键词 | 低温抛光 抛光模层 抛光液 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32294 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 韩荣久,孙恒德,徐德全,等. 单晶硅片的低温抛光技术[J]. 光学精密工程,1998(05):106-111. |
| APA | 韩荣久,孙恒德,徐德全,张云,&王立江.(1998).单晶硅片的低温抛光技术.光学精密工程(05),106-111. |
| MLA | 韩荣久,et al."单晶硅片的低温抛光技术".光学精密工程 .05(1998):106-111. |
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