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基于衍射光栅的外差Littrow式精密位移测量系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  吕强
caj(7246Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：142/0  |  提交时间：2020/08/24
精密测量  衍射光栅  多维度  大量程  误差分析  外差测量  Littow结构  
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：167/0  |  提交时间：2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  宋莹
Adobe PDF(5623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：505/2  |  提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光  扫描干涉场曝光  干涉条纹  移频式  静态相位锁定  动态相位锁定  Aom  
超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  焦庆斌
Adobe PDF(5377Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：291/1  |  提交时间：2014/08/21
TMT三镜系统Rotator组件结构技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  苏燕芹
Adobe PDF(6237Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：363/1  |  提交时间：2014/08/21