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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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差分五棱镜扫描法在大口径波前检测中的应用 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  汤兆鑫
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测量  波前检测  差分五棱镜扫描法  误差分析  
全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  宋莹
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全息光栅曝光  扫描干涉场曝光  干涉条纹  移频式  静态相位锁定  动态相位锁定  Aom  
基于Fery棱镜分光的太阳光谱仪研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  张浩
Adobe PDF(6373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：401/2  |  提交时间：2014/08/21